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在n型电池高效电池制备过程中，蒸镀铝可作为电池背面的金属化，但是由于背面激光开膜所引起的氧化层会对电池的串联电阻有很大的影响，所以必须在蒸镀铝之后进行退火处理以减少太阳电池的电阻.本文重点研究了背面蒸镀铝层的PERL太阳电池电池性能(电池串阻，开压，填充因子等)在不同退火工艺条件下的变化情况，得出：在某一特定温度下退火，电池的串阻会随退火时间的增加而降低，填充因子和短路电流会时间增加快速上升，开路电压缓缓上升，如果退火时间恰当的话，电阻会降到最低，此时开路电压也没有降低，电池的效率最大.退火过程符合阿伦尼乌斯方程，并通过此方程得出了退火反应的活化能为91.34KJ/mol.