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半球型振子是半球谐振陀螺的关键组成部件,而质量调平是半球型振子加工的重要步骤, 本文对离子束调平的原理,振子加工缺陷层的分布、形式和理论构成,去除缺陷的计算以及离子束工作时间的确定等问题进行了介绍。对应用离子束进行质量调平前后的缺陷情况进行了对比,实验结果表明该方法是有效的。
采用离子束技术对半球振子进行质量调平
【摘 要】
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半球型振子是半球谐振陀螺的关键组成部件,而质量调平是半球型振子加工的重要步骤, 本文对离子束调平的原理,振子加工缺陷层的分布、形式和理论构成,去除缺陷的计算以及离子
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所;
【发表日期】
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2004年期
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