【摘 要】
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本文针对钛合金在航空和医疗领域的超疏水表面需求，基于材料表面能和表面形貌两个影响因素，采用等离子体反应气相沉积和飞秒激光技术分别对低表面能薄膜(F-DLC及Cu膜)和方
【机 构】
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北京航空制造工程研究所,高能束流加工技术重点实验室,北京,100024
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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本文针对钛合金在航空和医疗领域的超疏水表面需求，基于材料表面能和表面形貌两个影响因素，采用等离子体反应气相沉积和飞秒激光技术分别对低表面能薄膜(F-DLC及Cu膜)和方柱形微结构在钛合金上进行了制备，通过XPS、XRD分析了薄膜的化学成分和结构，采用SEM和AFM对样品的表面形貌进行了表征，采用滴定角法对样品的疏水性能进行了评估，同时也对薄膜材料的力学性能进行了检测，获得了最佳工艺和设计，并采用最佳工艺和设计在钛合金上制备了仿生超疏水表面，检测结果表明，采用低表面能薄膜与微结构复合的方法，可以获得超疏水性能优异的钛合金表面，其中带有F-DLC薄膜的方柱形微结构水接触角可以达到165°，滚动角可达到5°，带有Cu薄膜的方柱形微结构水接触角可以达到156°，滚动角可达到8°。
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