多波长照明系统中的衍射光学元件的设计和实验

来源 :全国光电子物理及应用前沿问题研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shenxiaoxia123
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该文从光学变换的一般理论出发,将作者的振幅一相位恢复理论和算法推广到多波长照明的光学系统中,在直角坐标和旋转对称坐标的系统中分别推导出确定衍射相位元件(DPE)的相位分布的方程组,提出利用迭代算法即可设计有关的相位元件。再利用微电子加工技术,在石英基片上制作表面浮雕型的DPE。为了证实所设计和制作的DPE的性能和效果,最后进行光学实验测试。
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