【摘 要】
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近20年来,由于电信业滤波器应用的驱动,基于压电薄膜的薄膜体声波(FBAR)技术取得了显著的进展.本文综述了FBAR传感器的进展,重点是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621999
【出 处】
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四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会
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近20年来,由于电信业滤波器应用的驱动,基于压电薄膜的薄膜体声波(FBAR)技术取得了显著的进展.本文综述了FBAR传感器的进展,重点是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路;首次提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路(MMIC)或低温共烧陶瓷(LTCC)工艺制备的六端口网络构建集成FBAR传感器的原创设想.
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