【摘 要】
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本文设计并制备了一种基于Mach-Zehnder interferometer(MZI)结构的聚合物/二氧化硅混合波导热光开关器件.聚合物材料具有低热导系数和高热光系数的优点,可以有效地降低热光
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012
【出 处】
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第十二届全国塑料光纤、聚合物光子会议
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本文设计并制备了一种基于Mach-Zehnder interferometer(MZI)结构的聚合物/二氧化硅混合波导热光开关器件.聚合物材料具有低热导系数和高热光系数的优点,可以有效地降低热光器件的功耗,而以热导率相对较大的SiO2作为波导下包层,可以有效缩短器件的响应时间.器件以SiO2作为下包层,SU-8作为波导芯层,PMMA作为上包层,Al作为加热电极.通过测试得到器件的插入损耗为22.9dB,消光比为15.0dB,驱动功率为6.88mW,上升和下降时间分别为200.0μs和368.0μs.同时,通过温控系统控制器件所工作的环境温度,在22.5℃～34.5℃的温度范围内测试了器件的插入损耗随温度的变化关系,并对测试结果进行了分析.
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