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本文采用常压化学气相沉积法（APCVD）法,分别以正硅酸乙酯（TEOS）及（TTIP）为前驱体,先后在玻璃板上镀制SiO2与TiO2薄膜,制得膜层结构为glass/SiO2/TiO2的光催化自洁样品,并对其光致亲水性及光催化性能进行测试。从实验结果来看,SiO2中间层的引入,成功起到阻挡玻璃中碱金属向TiO2薄膜扩散的作用,有效防止了复合中心的形成及载流子浓度的降低,有助于光致亲水性及光催化性的提高。