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电弧离子镀MCrAIY高温防护涂层

来源 :粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangcwfq3

【作 者】

：

代明江 杜伟 林松盛 石倩 侯惠君 韦春贝 李洪 苏一凡 郭朝乾 

【出 处】

：

粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省

【发表日期】

：

2017年12期

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