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本文介绍了炭/炭复合材料热场部件在直拉硅单晶中的作用,详述了炭/炭复合材料坩埚结构性能特点,通过在单晶炉上的试验应用分析了炭/炭坩埚的一些不足,并提出了相应的解决方案.炭/炭复合材料坩埚比石墨材料具有更好的实际应用效果,在直拉硅单晶领域具有很好的应用潜力.
单晶硅炉用炭炭复合材料坩埚应用分析
【摘 要】
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本文介绍了炭/炭复合材料热场部件在直拉硅单晶中的作用,详述了炭/炭复合材料坩埚结构性能特点,通过在单晶炉上的试验应用分析了炭/炭坩埚的一些不足,并提出了相应的解决方案
【机 构】
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西安超码科技有限公司,西安710025;高性能碳纤维制造及应用国家地方联合工程研究中心,西安710089高性能碳纤维制造及应用国家地方联合工程研究中心,西安710089西安超码科技有限公司,西安710
【出 处】
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中国金属学会炭素材料分会第二十七次学术交流会
【发表日期】
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2013年10期
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