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本文分析了影响红外焦平面器件铟柱互连结构可靠性的一些因素,通过对铟柱结构的物理分析,发现铟织构是使得铟柱结构剪切力小的重要原因,并寻找破坏或减少铟织构,提高焦平面器件互连结构的强度的方法.
红外焦平面器件互连结构分析
【摘 要】
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本文分析了影响红外焦平面器件铟柱互连结构可靠性的一些因素,通过对铟柱结构的物理分析,发现铟织构是使得铟柱结构剪切力小的重要原因,并寻找破坏或减少铟织构,提高焦平面器件互连结构的强度的方法.
【机 构】
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华北光电技术研究所(北京) 清华大学材料科学与工程系(北京)
【出 处】
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2002年全国光电技术学术交流会
【发表日期】
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2002年12期
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