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微槽冷却热沉是微电子器件中工作芯片冷却的一种有效措施.不同截面形状、不同结构尺寸的微槽,其传热性能各不相同.本文以熵产最小作为目标函数,建立优化模型,采用熵产最小方法对微槽冷却热沉的横截面形状和结构尺寸进行优化设计.优化结果表明:微槽冷却热沉的结构形状对传热性能有较大的影响,与三角形和梯形结构相比,矩形微槽结构的传热效率更高.