【摘 要】
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<正>非球面光学元件检测与球面光学元件检测在元件的曲率半径处理上有显著的不同之处。球面光学元件在进行面形检测时一般会将离焦调整到很小,对于残留的离焦也是不做考虑,球
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<正>非球面光学元件检测与球面光学元件检测在元件的曲率半径处理上有显著的不同之处。球面光学元件在进行面形检测时一般会将离焦调整到很小,对于残留的离焦也是不做考虑,球面光学元件的曲率半径有单独的检测方法。非球面则不然,非球面的顶点曲率半径对非球面的轮廓影响是比较大的,其顶点曲率半径一般也是通过测量轮廓后拟合得到。在干涉里,检测结果中的POWER值是与被检非球面参数及放置位置相关的。在知非球面补偿器的参数情况下,借助光学设计软件可以"优化"出非球面的顶点球曲率半径,具体的做法如下(以Zemax为例):
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