论文部分内容阅读
薄膜光刻机
【机 构】
：
航天部771研究所
【出 处】
：
1988年全国大规模集成电路专用设备学术交流年会
【发表日期】
：
1988年期
其他文献
作者利用ＩＣ工艺在硅片上制作了多晶硅可翻转器件。这些器件可以是各种形状，并可支撑后形成三维立体结构。其垂直于硅片平面方向的尺寸可达毫米量级。
摘 要： 幼儿教育关系到千家万户的切身利益，而且关系到中华民族未来发展，是各级各部门和全社会都应该给予充分重视的一件大事。 关键词： 幼儿教育 独立 集体 沟通 幼儿是祖国的未来，是民族的希望。或者说，现在幼儿教育水平和取得的效果会非常明显地影响到未来我国人才的培养，影响到我国未来建设是不是有足够数量的合格人才。因此，做好幼儿教育工作，不仅关系到我国未来人民群众的文化素质，还关系到整个
该文介绍该单位为０．８微米成套工艺预研而设计、改造的高度超纯水系统的流程及特点。该系统已经过实践的考验，达到设计要求，并在完成０．８微米成套工艺的预研中发挥了作用。