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金刚石线锯已经普遍应用在硅材料和蓝宝石材料切割加工中,相对于传统的砂浆切割方式具有显著的优点:硅片损伤层厚度低、表面加工质量高、切割厚度均匀;损耗小、成材率高;切割速度快、效率高;COD排放低、环境污染小等优点.重点对超精微粉的性能及质量控制，以及生产工艺流程进行了研究。
超精金刚石在硅材料薄片化加工中的应用
【摘 要】
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金刚石线锯已经普遍应用在硅材料和蓝宝石材料切割加工中,相对于传统的砂浆切割方式具有显著的优点:硅片损伤层厚度低、表面加工质量高、切割厚度均匀;损耗小、成材率高;切割速度快、效率高;COD排放低、环境污染小等优点.重点对超精微粉的性能及质量控制，以及生产工艺流程进行了研究。
【出 处】
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2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
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2018年11期
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