磁控溅射技术制备二氧化钛薄膜研究进展

来源 :第八届全国腐蚀大会暨第217场中国工程科技论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yisheng
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随着制造业的不断升级及航海、航天技术的快速发展,对传统金属表面的耐用性、耐蚀性及表面自清洁性的要求越来越高.目前,二氧化钛薄膜在金属腐蚀防护、防止生物污损等方面展现出独特的优势.这是由于其具有高的化学稳定性、热稳定性,并且,常温下几乎不和其它物质发生反应,不发生阳极溶解,可以有效地阻止Cl-等腐蚀性离子迁移到基体,从而起到抑制金属腐蚀的作用.同时,它也是一种宽能带半导体材料,具有优良的光电性能和光催化活性,使其拥有良好的杀菌、防污、自清洁等功能.因此,在光催化降解有机污染物、光解制氢、抗菌材料、医学、太阳能电池电极及防污自清洁等众多领域有着广泛的应用.
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