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本文介绍了一种Ka波段的基于弧形桥式共面波导的新颖的分布式MEMS移相器。该弧形桥结构跨接在共面波导两侧的地线上，完全覆盖了MEMS金属桥，并且在金属桥下方的信号线上对称地开有锯齿形结构。
本文采用CST软件在30GHz～40GHz的频段内对移相器的射频性能进行仿真和优化，结果显示，在以35GHz为中心谐振频率的3GHz带宽内，反射损耗小于-10dB，线性相移在2200°～270°。在35GHz处，反射损耗接近-30dB，单桥相移达到1250°，与传统移相器比较，该移相器具有更低的反射损耗和更小的器件间的电磁干扰。