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用ＳＩＭＳ对用于可见光激光器研制的ＧａＡｓ／ＧａＩｎＰ／ＡｌＧａＩｎＰ材料材料系统进行了测试分析。适当选择质量特征峰，不仅清晰地展示出这种材料系统的结构，而且对非有意掺入的有害杂质氧进行监测，及时发现了工艺系统中的漏气和源的质量问题，对在不同实验条件下制备的多批样品的ＳＩＭＳ分析表明，氧含量的差别在一个数量级以上，氧含量的高低直接影响激光器的性能指标和寿命。为改进工艺和源的质量提供了可靠的依据。