【摘 要】
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液体混合是微流控芯片的重要功能之一，微流控液体混合方式可分为主动式和被动式两种。针对目前微流控芯片存在的被动式混合效率不高、主动式混合制作工艺复杂等问题，研究设
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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液体混合是微流控芯片的重要功能之一，微流控液体混合方式可分为主动式和被动式两种。针对目前微流控芯片存在的被动式混合效率不高、主动式混合制作工艺复杂等问题，研究设计了一种基于雕刻机加工的主动式微流控混合器芯片。该芯片采用数控雕刻机快速加工微模具，经PDMS固化、翻模、打孔、键合等工艺，实现了微混合器的制作。同时研究设计了多气室脉冲气体驱动模式，有效实现了微量试剂、样品的快速混合。实验结果表明，所研究的主动式微混合器可以产生对流混沌作用，显著提高微尺度下的混合效率，为实现低成本的微流控芯片制作、高效试剂混合的MEMS生化检测系统提供了一种有效的技术途径。
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