目前用于高精度光学平面面型检测的方法主要是干涉法,但是用干涉法测量高精度的平面时需要一个更高精度的平面作为参考面,因此在高精度光学平面的面型检测中需要引入一个绝对检验的概念。三平面互检法是一种重要的用于高精度光学平面绝对检验的干涉测量方法,它是对三个待测平面两两组合进行测量,得到三个平面各自的面型信息。传统的三平面互检法(BA,CA,CB)仅能得到三个平面各自在Y轴方向剖面线的轮廓偏差,不能实现在整个表面的三维轮廓偏差的测量。本文针对此问题,以传统三平面互检法为基础,结合三平面互检法的平面对称观点、平面旋转对称观点、奇偶函数观点以及N位平均的近似算法等理论,得到一种改进的三平面互检法。利用ZYGO干涉仪中GPI-Ⅰ对三个平面进行多次两两组合测量,通过数据处理,得出三个平面各自的三维面型偏差,从而实现三个平面的绝对面型测量。将改进方法所得结果与ZYGO干涉仪中three-flats直接测得的三个平面各自在X轴、Y轴剖面线上的测量结果进行比较和分析,结果非常一致,从而验证这种改进的三平面互检方法是有效的。