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功率半导体器件应用广泛,其直流参数测试设备有很大的需求.本文突破电容充放电产生脉冲大电流关键技术,成功开发了高压电压源、脉冲大电流源、可测试大电流的恒压源、小电流源、小电压源、数字电压表等直流参数测试设备重要组成部分,编制功率半导体器件直流参数测量软件,在此基础上,研制成功CESI系列功率半导体器件直流参数测试设备。