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ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究

来源 :中国真空学会五届三次理事会暨学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zengyuzhuo

【摘 要】

：

本文报导了ITO靶材溅射时,靶材表面的时效变化和靶材表面结瘤物的组成及其微结构;探讨了结瘤物生成的原因和减缓瘤子生成的方法,对改善ITO膜质有较好的参考价值.

【作 者】

：

姚吉升 唐三川 陈坚 王玺 周友元 黄军武 

【机 构】

：

长沙矿冶研究院(中国长沙)

【出 处】

：

中国真空学会五届三次理事会暨学术会议

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

靶材 溅射 结瘤物 表面 微结构 组成 时效 价值 方法 

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本文报导了ITO靶材溅射时,靶材表面的时效变化和靶材表面结瘤物的组成及其微结构;探讨了结瘤物生成的原因和减缓瘤子生成的方法,对改善ITO膜质有较好的参考价值.

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