常温常压下产生大体积的稳定均匀放电低温等离子体具有广泛的应用前景,成为近年来放电等离子体物理领域的研究热点问题。本文研究一种无介质阻挡的平行板形式的放电等离子体产生方式,其中一个电极采用直径130mm均匀分布的多空电极,另外一个平行板电极直径为70mm,采用无介质阻挡放电的形式。采用单极性重复频率高压脉冲源作为气体间隙激励源,其电压幅值从0~100k V连续可调,设计最高重复频率1k Hz,脉宽约为230ns,上升沿约为120ns。实验结果表明,采用He作为气体放电介质,流量为5L/min时,可以在超过20mm的气体间隙中获得均匀的放电等离子体。通过实验研究了等离子体的放电特性,在500Hz的频率下工作30min,电极表面温度几乎不变。电气参数测量表明无介质阻挡的脉冲激励气体放电发生在脉冲电压的下降沿阶段。采用曝光时间为5ns高速相机对放电发光进行高速摄影实验表明其工作在均匀放电模式。研究表明,不同的工作气体、混合气体的比例以及外加电压波形(主要由其上升与下降沿决定)是影响放电稳定性的关键因素。本文采用热成像仪以及发射光谱仪等多种诊断手段研究等离子体及电极温度的改变、等离子体参数(如特征谱线的发射光谱强度、电子温度等)。一些最新的研究结果也将在报告中涉及。