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为了提高激光位移传感器的测量精度，建立了激光三角位移测量系统，对该系统所采用的高斯曲线拟合法、传统灰度质心法和平方加权灰度质心法等光斑细分定位算法进行了研究.首先，根据激光三角法原理搭建位移测量系统.接着，用高精度电控平移台均匀移动物体，获取线阵CCD的多组图像数据.然后，用以上几种算法对数据进行处理得到激光光斑坐标，分别对系统进行标定.最后，将标定结果计算出的位移与实际位移进行对比，最小误差为71.1 μm.实验结果表明：平方加权灰度质心法处理后数据用于标定，计算出的误差最小.说明平方加权灰度质心法是一种较为理想的细分定位方法，不仅简单、易于实现，而且具有更高的定位精度.