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以检测Cl2为目标,采用恒温化学共沉积法合成了In-Nb复合半导体氧化物,并研究了其气体传感器的制作方法,分析了In-Nb气敏材料的微观特性和敏感特性,探讨了气敏机理.实验证明,In-Nb材料具有良好的Cl2敏感特性。
In-Nb复合半导体氧化物Cl2敏感特性的研究
【摘 要】
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以检测Cl2为目标,采用恒温化学共沉积法合成了In-Nb复合半导体氧化物,并研究了其气体传感器的制作方法,分析了In-Nb气敏材料的微观特性和敏感特性,探讨了气敏机理.实验证明,I
【机 构】
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哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨:150080
【出 处】
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第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会
【发表日期】
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2008年期
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