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本文研究了压电无阀微泵的动态特性，将其等效为包含液压元件的液压系统。采用有限元分析(FEA)方法，计算了薄膜的静态特性和自然频率。同时给出了液压等效系统的数学模型，并采用AMESim软件对系统进行仿真研究，分析了在考虑薄膜刚度情况下微泵的压力和输出流量动态特性。通过仿真结果比较可以看出，有限元分析与液压等效系统的结合提供了一个简单、有效地研究压电无阀微泵动态特性的方法。