【摘 要】
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外差干涉仪是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束，通过光电探测器的混频，输出差频信号，被测物体的变化如位移、振动、转动、大气扰动等引起的光波相位变化或多
【机 构】
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北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
【出 处】
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2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
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外差干涉仪是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束，通过光电探测器的混频，输出差频信号，被测物体的变化如位移、振动、转动、大气扰动等引起的光波相位变化或多普勒频移载于此差频上，经解调即可获得被测数据的仪器。外差干涉仪具有测量速度快、测量精度高、抗干扰能力强、重复性好、溯源性强等优点，广泛应用于测速、测长、测角、测振、测表面光洁度、测激光束通过湍流时光束的扰动、提高望远镜的视轴瞄准精度以及作自适应光学中的鉴相器等领域，获得了比零差干涉仪更高的精度。激光干涉仪的系统精度直接影响测量结果的精确性。本文分析了各种误差因素对激光外差干涉系统测量不确定度的影响，给出了系统的测量不确定度。
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