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<正>光刻机是集成电路制造的核心设备,工件台作为光刻机的核心子系统之一,其定位精度直接影响了光刻机的套刻精度。在目前高端投影光刻机中,工件台方镜是工件台扫描定位反馈测量系统的重要组成部分,具有一维尺寸大、面形精度(特别是局部面形精度)要求高,径厚比小等特点,如方镜长度可达到400mm以上,小口径局部面形精度需达到20nm以上,需要采用数控抛光系统进行加工。方镜加工过程中的面形检测成为指导抛光、决定加工精度的关键因素。由于大口径干涉仪价格昂贵,测量空间分辨率低,且难以实现高精度参考镜面形标定,因此难以满足空间测量分辨率和局部面形测量精度要求。子孔径拼接