双阴极等离子溅射金刚石显微结构研究

来源 :2013广东材料发展论坛暨战略性新兴产业发展与新材料科技创新研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:10198223
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目前,关于SYJ金刚石的微观结构的研究还不充分,针对其镀层的研究对镀覆金刚石的应用具有较强的指导意义,在此基础上,本文分析了SYJ金刚石的表面形貌、镀层结构、晶粒大小及组织致密性。结果表明,双阴极等离子体溅射镀铬金刚石表层形成了厚度约为500nm的柱状结构镀层,镀层晶粒尺寸约为10nm。镀层主要有纯铬组成,仅在结合面附近存在少量铬的碳化物,具有十分致密的结构且表面起伏大。
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