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本文介绍了低温真空吸附装置的基本原理,考察低温真空吸附装置作为COIL的压力恢复系统是否能维持光腔的静压力恒定及压力恒定的时间是否满足出光要求.采用空气模拟COIL实验,总气体流量为2mol/s时(分子筛活化温度200℃),超音速喷管后压力5乇,维持恒定时间为8秒.实验表明,低温真空吸附装置作为COIL的压力恢复系统原理可行.