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主要讨论了激光调阻机光学系统设计要点.分析了激光束参数和扫描方式对调阻结果的影响,结合整机总体设计给出了扫描振镜和激光源的控制方式.
激光调阻机光学系统设计与光束控制
【摘 要】
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主要讨论了激光调阻机光学系统设计要点.分析了激光束参数和扫描方式对调阻结果的影响,结合整机总体设计给出了扫描振镜和激光源的控制方式.
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院 光电信息技术科学教育部重点实验室(天津)广东风华高新科技集团有限公司(肇庆)
【出 处】
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第十五届全国激光学术会议
【发表日期】
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2001年期
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