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以二乙基已酸钡和钛醚丁酯为原料，采用SOl-gel法制备BaTiO<,3>，薄膜，并借助于热分析、X-Tay衍射以及扫描电键研究了BaTiO<,3>薄膜的相变过程和组织结构。结果表明，利用该法制备的BaTiO<,3>薄膜其形成温度比采用常规原料（醋酸钡或氢氧化钡和钛酸丁酯）低约200℃，并讨论了衬底材料对BaTiO<,3>薄膜的晶化温度和形貌的影响。