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本文简要介绍了上海市用于半导体和其它器件上光学和红外镀膜的高品位氧化物材料的性能指标和生产状况,以及其它常用镀膜材料的性能规格.也简述了珍稀贵重的新型镀膜材料的发展前景.
氧化物光学镀膜材料发展现状
【摘 要】
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本文简要介绍了上海市用于半导体和其它器件上光学和红外镀膜的高品位氧化物材料的性能指标和生产状况,以及其它常用镀膜材料的性能规格.也简述了珍稀贵重的新型镀膜材料的发展前景.
【机 构】
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上海特旺光电材料有限公司(上海)
【出 处】
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上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会
【发表日期】
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2004年10期
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