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本文研制的单晶硅微型阀是为了硅微型泵的应用专门设计的,但是微型阀本身也可以作为流体控制器件.文中详细说明了微型阀的设计和加工工艺,讨论了该阀加工过程中的干法腐蚀和湿法腐蚀工艺,以及自停止腐蚀工艺.
单晶硅微型阀的设计制作
【摘 要】
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本文研制的单晶硅微型阀是为了硅微型泵的应用专门设计的,但是微型阀本身也可以作为流体控制器件.文中详细说明了微型阀的设计和加工工艺,讨论了该阀加工过程中的干法腐蚀和
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系(北京)
【出 处】
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中国兵工学会第10届测试技术研讨会
【发表日期】
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2000年期
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