超灵敏度真空检漏是当前长寿命、高可靠真空元器件应用领域产品质量难以保证的重要技术瓶颈。为了解决我国国防军工涉及的微电子、半导体、航空航天、核工业、船舶等领域特殊真空元器件封装时对超灵敏度检漏的需求,本文在我国清华大学原有下限为5310-15 Pam3/s 超灵敏度检漏技术的基础上,针对基于累积法超灵敏度检漏下限难以延伸和检漏结果存在较大偏差的问题,探讨了限制超灵敏度检漏下限难以延伸的因素,通过优化设计检漏仪的结构、对质谱分析室表面进行特殊工艺处理、对质谱计进行特殊处理等方法,将超灵敏度检漏下限延伸至5310-16 Pam3/s；将校准功能集成在超灵敏度检漏仪上,用可变的标准示漏He 气漏率实施校准超灵敏度检漏结果,解决了超灵敏度检漏量值溯源问题,提高了检漏结果的正确性。研究结果表明,研制的新一代超灵敏度检漏及其校准装置下限可达5310-16 Pam3/s,检漏结果的合成标准不确定度减小到小于10％。