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本文从叉指式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号的关系,得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件,由此提出了叉指式微机械陀螺的闭环驱动方式并设计了总体电路结构,总结了陀螺闭环驱动电路的优点以及设计难点.
叉指式硅微机械陀螺的闭环驱动电路研究
【摘 要】
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本文从叉指式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号的关系,得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件,由此提出了叉指式微机械陀螺的闭环驱动方式并设计了
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
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2005年期
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