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该语文研究了Φ１２５ｍｍ单晶氧的径向均匀性，为控制氧径向均匀性应首选择Φ１２５ｍｍ热场，增加晶转速度可以改善氧径向均匀性。
Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
【摘 要】
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该语文研究了Φ１２５ｍｍ单晶氧的径向均匀性，为控制氧径向均匀性应首选择Φ１２５ｍｍ热场，增加晶转速度可以改善氧径向均匀性。
【机 构】
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有色金属研究总院
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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