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本文介绍了一种利用AT89C52单片机对传统手动型多弧离子镀膜系统进行弧源控制改造的设计方法,阐述了控制系统硬件结构及软件的设计思想。改造后的镀膜系统能自动顺序或交替控制8组靶的弧源通断,可满足不同需求。投入运行后,该系统运行稳定可靠,生产效率高,获得了良好的经济效益。
基于AT89C52的多弧离子镀膜弧源控制新方法
【摘 要】
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本文介绍了一种利用AT89C52单片机对传统手动型多弧离子镀膜系统进行弧源控制改造的设计方法,阐述了控制系统硬件结构及软件的设计思想。改造后的镀膜系统能自动顺序或交替控
【发表日期】
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2006年期
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