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会议论文
一种提高扩散泵机组性能的有效方法
一种提高扩散泵机组性能的有效方法
来源 :中国真空学会真空获得与测量学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kusoyi
【摘 要】
:
该文介绍采用单机制冷压缩机组却扩散泵档板,通过实验证实,它是一种降低扩散泵返油率,提高极限 真空度的有效方法。
【作 者】
:
徐成海
郝璐
高亚杰
孙能运
【机 构】
:
东北大学(沈阳)
【出 处】
:
中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
扩散泵
机组性能
制冷压缩机组
真空度
返油率
验证
方法
档板
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该文介绍采用单机制冷压缩机组却扩散泵档板,通过实验证实,它是一种降低扩散泵返油率,提高极限 真空度的有效方法。
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