【摘 要】
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提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS倒模工艺在PDMS上制备了"V"型Ag薄膜平行板
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室; 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
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提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS倒模工艺在PDMS上制备了"V"型Ag薄膜平行板电极的电容式柔性压力传感器。针对"V"型平行板电极进行拉伸测试,并对不同封装形式的柔性压力进行对比测试。测试结果表明,"V"型平行板电极拉伸极限为65%,使用PDMS进行封装的柔性压力传感器具有较高的灵敏度和良好的重复性。同时该方法实现了圆片级批量制备柔性压力传感器,在柔性压力监测,电子皮肤等方面有着广阔的应用前景。
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