UV-Hg灯光化学气相淀积SiO2薄膜的工艺研究

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong576

【摘要】

：

<正>一、光化学气相淀积工艺概述在集成电路的各种低温淀积技术中,光化学气相淀积(光CVD)技术.是最年轻、最有前途的.光CVD是利用光增强反应气体材料的光激活和光分解,可以在

【作者】

：

景俊海孙青孙建诚

【机构】

：

西安电子科技大学物理系;西安电子科技大学物理系;

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

1989年05期

【关键词】

：

淀积速率反应室化学气相淀积 UV-Hg SiO2

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

<正>一、光化学气相淀积工艺概述在集成电路的各种低温淀积技术中,光化学气相淀积(光CVD)技术.是最年轻、最有前途的.光CVD是利用光增强反应气体材料的光激活和光分解,可以在50～300℃条件下形成薄膜.与高温氧化、常压CVD相比,它可以减少温度对杂质分布的影响,降低针孔密度,避免芯片弯曲,抑制工艺中诱发新的缺

其他文献

我院门、急诊常用中药注射液3281张处方点评及用药合理性分析

目的:通过分析我院门、急诊处方中应用中药注射液的基本情况以及存在的问题,总结中药注射液的点评思路,以促进中药注射液的临床合理用药,进一步推动中药临床药学工作的开展。

会议

处方点评中药注射液临床应用安全用药

电解CuSO4法测定阿佛加德罗常数的探讨

<正> 电解CuSO4法测定阿佛加德罗常数原理简明,操作方便,数据可靠,易于在中学推广。因此我们在该实验的基础上,进行了一系列的探讨,使该实验得到进一步的完善。一、实验原理:

期刊

阿佛加德罗常数分析天平电流强度CuSO4

社区体育建筑的文化表达——以成都三瓦窑社区体育中心为例

运用文献资料、逻辑分析等研究方法,以成都三瓦窑社区体育中心为例,对成都三瓦窑社区体育中心设计意象进行分析、提炼和整理。研究认为社区体育建筑文化表达相关联的文化构成

会议

社区体育建筑文化空间材料

叶酸、维生素B12对糖尿病肾病大鼠肾脏保护作用的研究

目的研究叶酸、维生素B12与糖尿病大鼠肾脏病变之间的关系并探讨糖尿病肾脏病变的发生机制。方法选用SD大鼠80只,随机分为正常组(10只)和造模组(70只)。用高脂高糖高能量饲料

报纸

叶酸维生素B12糖尿病肾病

黄曲霉毒素B1的ROSA快速测定

采用基于酶受体竞争反应的免疫胶体金技术检测食品中黄曲霉毒素B1含量,建立一种对黄曲霉毒素B1的快速并安全的检测方法。经过对大豆和花生的测定,其检出限皆小于2.0μg/kg,回

期刊

免疫胶体金黄曲霉毒素大豆花生

葡萄籽中原花青素的超临界CO2萃取工艺优选

目的:探讨超临界CO2流体萃取葡萄籽中原花青素的方法,选出最佳的提取工艺参数。方法:以原花青素含量为指标,考察了萃取温度、压力、CO2流量、萃取时间4个因素对葡萄籽中原花

会议

葡萄籽超临界CO2萃取原花青素

河流CO2与CH4排放研究进展

河流作为连接海-陆两大碳库的主要通道,其水-气界面二氧化碳（CO2）与甲烷（CH4）排放构成全球碳循环的重要环节,对全球气候变暖的贡献不容小觑.明确河流水体CO2与CH4产排过程、时空

报纸

河流系统碳排放动力学概念框架时空变异性控制因子

Hg敏化光CVD SiO2薄膜最佳工艺条件的研究

本文叙述了 Hg 敏化光化学气相淀积薄膜的方法,研究了制备 SiO2薄膜的最佳工艺条件。结果表明,当衬底温度约 200℃,而淀积时间、反应室总压力和气体流量分别在30—50min、30

报纸

低温Hg敏化光—CVDSiO2薄膜

AFS各期子宫内膜异位症患者血清、腹腔液CA125和抗子宫内膜抗体的检测及临床意义

目的:比较AFS各期的子宫内膜异位症患者血清、腹腔液CA125和抗子宫内膜抗体检测结果。方法:采用放射免疫分析法和双抗体夹心酶联免疫吸附法分别检测61例子宫内膜异位症患者(

期刊

CA125抗原/血液酶联免疫吸附测定子宫内膜/免疫学子宫内膜异位症/AFS分期自身抗体/血液

UV-Hg灯光化学气相淀积SiO2薄膜的工艺研究

其他学术论文