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详细介绍了以ＰＳＤ为敏感元件的石英摆片综合参数测试系统的测量原理、光路和电路。该系统可对石英摆片的摆幅、摆频、扭幅、扭频、台阶高度和挠性梁刚度等实现自动测量，具有响应快、分辨率高、易于ＰＣ机通讯等特点，为石英摆片的质量评估提供了科学依据。
PSD在石英摆片综合参数测试中的应用
【摘 要】
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详细介绍了以ＰＳＤ为敏感元件的石英摆片综合参数测试系统的测量原理、光路和电路。该系统可对石英摆片的摆幅、摆频、扭幅、扭频、台阶高度和挠性梁刚度等实现自动测量，具有响应快
【机 构】
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滨工程大学707教研室
【出 处】
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第七届全国光电技术与系统学术会议
【发表日期】
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1997年期
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