某型磁悬浮涡轮分子泵的设计与分析

来源 :中国真空学会2012学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:df_871
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
  涡轮分子泵是一种低振动的高速旋转机械,其涡轮等关键件设计的准确性直接关系到产品的性能和可靠性。本文以某型磁悬浮涡轮分子泵部分设计的实例,分析了涡轮的主要载荷和振动特性、涡轮分子泵在应用上的传热问题,同时针对试验过程中出现的问题,给出了相应的解决措施和思路,为涡轮分子泵的设计提供了参考。
其他文献