【摘 要】
：
采用磁控溅射的方法来分别在随机刻蚀的多孔硅和孔径2.5μm、12μm、15μm的多孔硅阵列上沉积钛膜。分别讨论了加偏压和不加偏压条件下沉积的钛膜的形貌,及多孔硅的刻蚀形貌
【机 构】
：
辐射物理及技术教育部重点实验室,四川大学原子核科学技术研究所;
论文部分内容阅读
采用磁控溅射的方法来分别在随机刻蚀的多孔硅和孔径2.5μm、12μm、15μm的多孔硅阵列上沉积钛膜。分别讨论了加偏压和不加偏压条件下沉积的钛膜的形貌,及多孔硅的刻蚀形貌对钛膜的影响。研究表明:未加偏压时,钛膜在多孔硅阵列上以柱状晶和岛装生长模式生长,在硅的原刻蚀纹路上堆积,造成沉积的阴影效应,钛膜均匀性差;施加偏压后,沉积的钛膜相对平整,离子经偏压加速后的再溅射效应有效减小了钛原子在硅刻蚀纹路和孔口边缘上的堆积,减小了表面和孔内的沉积厚度比,孔内的钛膜沉积深度达55μm以上。可以看出,多孔硅的表面、孔壁形貌也会影响钛膜的形貌,平滑的孔壁要优于粗糙的孔壁。
其他文献
我国的金融体系一直受到农村金融相关问题的困扰，我们需要对农村金融市场存在的各种问题进行详细的研究，并且对其进行不断的改进，进而为农村金融的进一步发展找到科学策略。本文
社会对于弱势群体的关注从未减少,特殊儿童一直是政府及社会帮助扶持的重点对象。但是特殊儿童家庭照顾者却经常受到忽视,他们的命运与特殊儿童们的生存境遇息息相关。许多特
<正>0引言舒适性是现代汽车质量的主要指标之一,车内噪声不仅影响乘坐舒适性和语言清晰度,而且还是衡量整车动态性能的一项重要指标。车内噪声（包括结构声和空气声）的降低需要
针对高职数学教学的现状及高职生数学学习的心理障碍的原因分析，在教学中消除髙职生数学学习心理障碍的对策有：帮助他们增强学习的信心，培养他们的学习兴趣，更新评价理念和成功教
细胞是构成生物体的基本单位。细胞内和细胞之间的信号传导的重要途径是通过镶嵌在细胞膜上的离子通道蛋白进行的。1976年，德国的两位细胞生物学家埃尔温·内尔（Er．winNeher
该装置可对消防员开展系统性的洗消训练,使其熟练识别化学事故处置后的化学残留物,熟练掌握不同类型洗消剂配对使用、个人防护装备洗消处置方法、灭火装备洗消方法及效果评估
对太空可展开天线索网结构中表面精度和基频的优化问题进行了研究，建立了索网的有限元分析模型，并用非线性有限元法对其进行了求解。以索网的上下弦索及中间调整索的直径为设计
近日,国家卫生健康委员会出台《互联网诊疗管理办法(试行)》《互联网医院管理办法(试行)》和《远程医疗服务管理规范(试行)》。三大重磅文件,为中国快速发展的'互联网+医
2019年3月22日，习主席会见意大利众议长菲科，会见临近结束时，菲科抛出了一个问题：“您当选中国国家主席的时候，是一种什么样的心情？”习近平主席说：“这么大一个国家，责任非常重、工