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晶体硅电池的氮氧化硅硅(SiOxNy)薄膜特性研究

来源 :第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangdod

【摘 要】

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氮氧化硅(SiOxNy)作为减反射膜,可以兼备氮化硅(SiNx)的减反效果和二氧化硅(SiO2)的钝化效果.本文在工业型DIRECT-PECVD 上,通过优化各项工艺参数,使得氮氧化硅薄膜减反、钝化效果达到最优.通过红外傅里叶分仪分析：发现随着氧含量减小,钝化效果先增大后减小,当折射率达到1.85 时,沉积薄膜前后少子寿命增益最大.通过与常规的单、双层氮化硅薄膜对比,发现：氮氧化硅具有最优的短波响

【作 者】

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凡金星 刘佳凯 陈如龙 杨健 张光春 施正荣 黄海涛 艾凡凡 严婷婷 宋剑 陈月猛 鲁科 沈家军 钱俊 

【机 构】

：

无锡尚德太阳能电力有限公司

【出 处】

：

第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

【发表日期】

：

2012年3期

【关键词】

：

太阳电池 钝化 减反 PECVD 氮氧化硅(SiOxNy) 

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论文部分内容阅读

氮氧化硅(SiOxNy)作为减反射膜,可以兼备氮化硅(SiNx)的减反效果和二氧化硅(SiO2)的钝化效果.本文在工业型DIRECT-PECVD 上,通过优化各项工艺参数,使得氮氧化硅薄膜减反、钝化效果达到最优.通过红外傅里叶分仪分析：发现随着氧含量减小,钝化效果先增大后减小,当折射率达到1.85 时,沉积薄膜前后少子寿命增益最大.通过与常规的单、双层氮化硅薄膜对比,发现：氮氧化硅具有最优的短波响应.同时,氮氧化硅的电池转换效率较双层氮化硅电池提升0.19％.

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