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K9玻璃是常用的光学和微系统材料,其表面粗糙度对光学和微系统器件的性能具有十分重要的意义.本文研究了影响K9玻璃离子束抛光效果的因素,并得到了低于0.4nm的表面粗糙度.
K9玻璃的离子束抛光
【摘 要】
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K9玻璃是常用的光学和微系统材料,其表面粗糙度对光学和微系统器件的性能具有十分重要的意义.本文研究了影响K9玻璃离子束抛光效果的因素,并得到了低于0.4nm的表面粗糙度.
【机 构】
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核工业西南物理研究院,四川成都,610041
【出 处】
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2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2006年10期
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