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物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特性，这是纳米科技发展的基础之一。要想探索在纳米尺度下材料与器件物理性质的变化规律及可能的应用领域，离不开相应的纳米加工手段。纳米加工技术作为当今高技术发展的重要技术领域之一，是实现功能人工纳米结构与器件微纳米化的基础。在此，我们根据纳米材料和纳米结构在电、磁、光、生物等不同方面的应用，重点介绍几种不同的纳米加工方法如何实现纳米结构的可控加工与操控、有效测量与新奇物性发现，以及在器件研究领域的应用。