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硅烷流化床法还原多晶硅过程的数值模拟

来源 :第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tinggu

【作 者】

：

杜少华 刘立军 

【机 构】

：

西安交通大学能源与动力工程学院

【出 处】

：

第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

【发表日期】

：

2016年期

【关键词】

：

硅烷 流化床法 还原 多晶硅 过程 

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