旋转阴极磁场测控系统设计与研究

来源 :中国真空学会2012学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qncypt
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  随着能源问题的日益凸显,功能性玻璃正逐渐被人们所重视,而作为镀膜工艺的关键部件之一——阴极的设计与生产,核心技术多被外企所垄断,国内在该领域的设计与研究尚属起步阶段。阴极设计主要分为:机械结构及磁场分布两个方面。其中磁场的布局直接影响到溅射工艺的优劣及其生产效率高低。合理、精准的磁场排布能够有效的提高磁场的均匀性,增加靶材的利用率。因此对特定点位的磁场测量,提出了极高的要求。
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