【摘 要】
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当前，在表征薄膜厚度、光学常数等常规测试，以及对薄膜材料的光学响应特性的研究等领域，光谱椭偏仪的应用相当普遍；在以平板显示器为代表的薄膜显示器件、半导体微电子等光电
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京100013
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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当前，在表征薄膜厚度、光学常数等常规测试，以及对薄膜材料的光学响应特性的研究等领域，光谱椭偏仪的应用相当普遍；在以平板显示器为代表的薄膜显示器件、半导体微电子等光电子行业，椭偏仪检测早已成为常规产品检验工序。椭偏仪经过了过去几十年的不断改进，不仅在测量速度、精度上有了很大提高，而且在光谱范围、分析功能等方面有了极大的扩展；此外，还涌现了各种型号的商业产品。这些产品的原理不尽相同，一般用户通常并不关心，也缺乏了解，这导致生产商宣称的参数，往往令用户在具体应用中无所适从，甚至产生疑惑。
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