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纳米单层、多层膜的厚度测量的重要方法之一是掠入射X射线反射(XRR)测量，通过全谱反射曲线拟合，可以得到膜层厚度、界/表面粗糙度和膜层材料堆积密度等重要的结构信息。本文主要研究了XRR设备溯源过程中角度的溯源以及不确定度的评定。
X射线反射仪角度溯源性研究
【摘 要】
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纳米单层、多层膜的厚度测量的重要方法之一是掠入射X射线反射(XRR)测量，通过全谱反射曲线拟合，可以得到膜层厚度、界/表面粗糙度和膜层材料堆积密度等重要的结构信息。本文主
【机 构】
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中国计量科学研究院 100013
【出 处】
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第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
【发表日期】
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2010年期
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